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了解氯化氢气体在特气分类中的地位

返回  打印  发布时间:2018-2-5 点击:971

    大家都知道氯化氢气体属于特气的一种,“特气”,顾名思义就是特殊气体。不管是毒性气体还是易燃易爆气体,或者是强腐蚀性的气体,都算是特殊气体。
    独特气体,简称特气,具有以下分类及注意事项
   (1)易燃性气体 把自燃、易燃、可燃气体等都界说为这类气体。如常温下的SiH4气体只需与空气触摸就会焚烧,当环境温度到达一守时,PH3与B2 H6等气体也会发作自燃。可燃易燃气体都有必定的着火焚烧爆破规模,即上限、下限值。此规模越大的气体起爆破焚烧风险性就越高,如B 2H6的爆破上限为98%,爆破下限为0.9%。归于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
   (2)毒性气体(Toxic Gas):如氯化氢气体,半导体制造职业中运用的气体许多都是对人体有害、有毒的。其间又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性最大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)别离只 需50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因而在储存、运送以及运用的进程中都需求特别的当心。通常都应该采纳特定的技能措施来操控运用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都归于毒性气体。
   (3)腐蚀性气体(Corrosive Gas):这些腐蚀性气体通常一起也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在枯燥状态下通常不易腐蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如氯化氢气体, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
   (4)惰性气体(Inert Gas): 隋性气体自身通常不会直接对人体发作损伤,在气体传输进程中,关联于安全上的需求不如以上其他气体严厉。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发作走漏会使人窒息而形成工伤事故。归于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
   (5)氧化性气体(Oxide Gas):这类气体有较强的氧化性,通常一起具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。归于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。
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